脉冲激光诱导光学薄膜元件损伤识别方法综述

随着激光技术的不断发展，对应用于大功率、高能量激光系统，以及激光防护系统中的光学薄膜器件提出了高损伤阈值的要求。但目前在激光损伤阈值的测量上，还存在测量标准不统一、重复性不好、准确性差、相互结果难以比对等问题，其主要原因在于不同的材料及膜系适用于不同的损伤识别方法。对目前国内外在损伤识别方法方面的研究进行了总结，阐述了图像法、散射法、等离子闪光法，等离子体光谱法等多种不同的损伤识别方法，介绍了各种方法识别损伤的原理、特点，以及损伤识别的效果，期望对激光损伤阈值测试方面的研究具有参考和借鉴。