亚波长抗反射光栅结构的设计及制备 |
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引用本文: | 郑坤,郭忠达,李宏,韩雨芯,宋炫宇.亚波长抗反射光栅结构的设计及制备[J].光学与光电技术,2023(2):86-92. |
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作者姓名: | 郑坤 郭忠达 李宏 韩雨芯 宋炫宇 |
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作者单位: | 1. 西安工业大学光电工程学院;2. 陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室 |
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摘 要: | 针对现有亚波长抗反射光栅结构参数对加工工艺要求较高且难以制备等问题,设计了一种方柱形二维抗反射光栅结构。依据等效介质理论和薄膜增透理论对亚波长抗反射光栅结构参数进行仿真分析,结果表明其透射率在远红外波段20~24 μm平均透射率能够达到98%,中心波段21.8 μm处透射率达到99%。使用飞秒激光直写方式进行实验制备,测得平均透射率达77%,中心波段透射率达到77%,与仿真结果相近。经实验验证,所设计的亚波长光栅结构的工艺容差较现有光栅结构更好,且对实验加工精度要求较低,为其他类似光栅结构的设计和加工提供了新的思路。
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关 键 词: | 亚波长结构 光栅 等效介质理论 飞秒激光 抗反射 |
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