| 一种具有隔振框架的解耦硅微陀螺 |
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| 引用本文： | 肖定邦,吴学忠,李伟东,董培涛,侯占强,李圣怡.一种具有隔振框架的解耦硅微陀螺[J].半导体学报,2008,29(12). |
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| 作者姓名： | 肖定邦 吴学忠 李伟东 董培涛 侯占强 李圣怡 |
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| 作者单位： | 1. 国防科技大学微系统实验室,长沙,410073
2. 中国电子科技集团第二十四研究所,重庆,400021 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，国防科技大学优秀研究生创新资助项目 |
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| 摘 要： | 提出了一种利用隔振框架解耦的硅微陀螺,其驱动模态和检测模态不仅有各自独立的支撑结构,还有各自独屯的惯性质量块,隔振框架隔离了驱动结构和检测结构,减小了模态之间的交叉耦合;利用TMAH湿法腐蚀结合深反应离子刻蚀工艺,在n型<100>低阻硅片上制作出了微陀螺样片,并为其研制了配套的测控电路;测试结果表明,驱动模态频率为2.981kHz,品质因子为800,检测模态频率为2.813kHz,品质因子为34,刻度因子为38mV/(°/s),线性度优于0.8%,微陀螺在0.5h内的零偏稳定度为0.28°/s.
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| 关 键 词： | 硅微陀螺 解耦结构 隔振框架 |
A Decoupled Silicon Micromachined Gyroscope with Vibration Isolation Frame |
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| Xiao Dingbang,Wu Xuezhong,Li Weidong,Dong Peitao,Hou Zhanqiang,Li Shengyi.A Decoupled Silicon Micromachined Gyroscope with Vibration Isolation Frame[J].Chinese Journal of Semiconductors,2008,29(12). |
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| Authors: | Xiao Dingbang Wu Xuezhong Li Weidong Dong Peitao Hou Zhanqiang Li Shengyi |
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