| 热电式微波功率传感器的优化设计 |
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| 引用本文： | 韩磊,黄庆安,廖小平.热电式微波功率传感器的优化设计[J].半导体学报,2008,29(4). |
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| 作者姓名： | 韩磊 黄庆安 廖小平 |
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| 作者单位： | 东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，装备预先研究资助项目 |
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| 摘 要： | 提出了一种热电式微波功率传感器的二维热分布解析模型,通过分析传感器的各种结构参数对热分布的影响,给出了热电式微波功率传感器的优化设计.为了获得高灵敏度,给出了设计膜的厚度、匹配电阻与热电堆热端的距离、热电堆悬浮部分的长度等结构参数的原则,并利用Ansys模拟结果和解析结果进行对比验证,结果显示两者吻合较好,说明了解析模型的适用性,可在设计该类传感器时参考.
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| 关 键 词： | 热电式 微波功率 解析模型 二维热分布 |
Optimization of a Thermoelectric Microwave Power Sensor |
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| Han Lei,Huang Qing'an,Liao Xiaoping.Optimization of a Thermoelectric Microwave Power Sensor[J].Chinese Journal of Semiconductors,2008,29(4). |
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| Authors: | Han Lei Huang Qing'an Liao Xiaoping |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | |
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