| RF MEMS开关吸合电压的分析 |
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| 引用本文： | 董乔华,廖小平,黄庆安,黄见秋.RF MEMS开关吸合电压的分析[J].半导体学报,2008,29(1). |
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| 作者姓名： | 董乔华 廖小平 黄庆安 黄见秋 |
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| 作者单位： | 东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096 |
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| 摘 要： | 吸合电压是MEMS静电执行器的重要参数,针对RF MEMS开关,详细分析了开关在不同执行方式下的吸合电压.对于执行电压是脉冲方式而言,开关梁受迫振动,不同于准静态方式,此时使开关发生吸合的执行电压为动态吸合电压,计算表明比准静态吸合电压小8%.通过简化的弹性系数和精确的电容计算公式,详细分析了基于CPW的双端固支梁开关的准静态和动态吸合电压.分析了环境阻尼对动态吸合电压的影响,阻尼使得开关的两种吸合电压差别变小.最后分析了射频输入功率对开关吸合电压的影响,射频输入功率会降低吸合电压,如果输入功率足够大,吸合电压将会降为零,此时MEMS开关会发生自执行失效.
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| 关 键 词： | RF MEMS 开关 吸合电压 准静态 动态 阻尼 |
Analysis of Pull-In Voltage of RF MEMS Switches |
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| Dong Qiaohua,Liao Xiaoping,Huang Qing'an,Huang Jianqiu.Analysis of Pull-In Voltage of RF MEMS Switches[J].Chinese Journal of Semiconductors,2008,29(1). |
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| Authors: | Dong Qiaohua Liao Xiaoping Huang Qing'an Huang Jianqiu |
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