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| 用于液晶显示器件的旋转倾斜蒸镀SiO法 | |
| 引用本文： | 王良御,蔡瑞年,何秀芳.用于液晶显示器件的旋转倾斜蒸镀SiO法[J].清华大学学报(自然科学版),1978(3). |
| 作者姓名： | 王良御 蔡瑞年 何秀芳 |
| 作者单位： | 清华大学基础课 (王良御)，北京地质仪器厂 (蔡瑞年)，北京化工厂(何秀芳) |
| 摘 要： | 旋转倾斜真空蒸发ＳｉＯ的方法能同时蒸镀多个基片，并且可在蒸发源和基片距离较短时蒸发。 拍摄了ＳｉＯ薄层的电子显微镜照片。用上述方法制作了三种液晶显示器件。 |
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