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| 薄膜光学 光学薄膜参数测试 | |
| 摘 要： | O484.5 2006032393金属有机化合物汽相沉积技术制备布喇格反射镜确定外延厚度的方法=Determining method of the thickness ofthe distributed Bragg reflector grown by metal-organicchemical vapor depositon刊,中]/盖红星(北京工业大学电控学院光电子技术实验室.北京(100022)) ,陈建新…∥光学精密工程.—2006 ,14(1) .—54-57应用传输矩阵方法分析了厚度偏差对半导体布喇格反射镜(DBR)反射谱的影响,并利用这种影响提出了一种金属有机化合物汽相沉积( MOCVD)制备布喇格反射镜精确确定外延厚度的方法。据此,应用MOCVD生长了980nm… |
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