|
|||||
|
|
| 离子注入机大行程垂直扫描系统的研制 | |
| 引用本文： | 肖仁耀,许波涛.离子注入机大行程垂直扫描系统的研制[J].电子元器件资讯,2009(3). |
| 作者姓名： | 肖仁耀 许波涛 |
| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所,长沙,410111 |
| 摘 要： | 采用垂直扫描系统是离子注入机最常用的扫描方式之一,着重阐述了一种大行程垂直扫描系统的系统构成、设计思路和实现方法.经过实际使用证明,该系统提高了离子注入机机械扫描的可靠性和稳定性. |
| 关 键 词： | 垂直扫描 气浮轴承 差压抽气 直线电机 |
Research on Large Length and Vertical Scanning System of Ion Implanter |
|
| Abstract: | |
| Keywords: | |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |