|
|||||
|
|
Selbstkatalytische Atomlagenabscheidung von Siliciumdioxid |
|
| Authors: | Julien Bachmann,Robert Zierold,Yuen Tung Chong,Roland Hauert,Chris Sturm,Rü diger Schmidt‐Grund,Bernd Rheinlä nder,Marius Grundmann,Ulrich Gö sele,Kornelius Nielsch |
| Abstract: | |
| Keywords: | Atomlagenabscheidung (ALD) Dü nne Filme Nanorö hren Siliciumdioxid Templatsynthesen |