|
|||||
|
|
| β-C_3N_4的制备及若干问题探讨 | |
| 引用本文： | 陈光华,严辉,彭军,张亚菲.β-C_3N_4的制备及若干问题探讨[J].物理,1998(2). |
| 作者姓名： | 陈光华 严辉 彭军 张亚菲 |
| 作者单位： | 北京工业大学应用物理系，兰州大学物理系 |
| 摘 要： | 采用热丝辅助反应溅射和等离子体增强热丝化学气相沉积（ＣＶＤ）的制备方法，获得了含有β－Ｃ３Ｎ４结晶相的ＣＮｘ薄膜．文章将重点介绍制备参数与ＣＮｘ薄膜结构的关系，并进一步讨论与β－Ｃ３Ｎ４结晶相择优生长有关的主要问题 |
| 关 键 词： | 合成β－C＿3N＿4，反应溅射，热丝CVD |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |