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| 采用Seemann—Bohlin准聚焦X射线衍射仪测量薄膜厚度的误差理论分析 | |
| 引用本文： | 于志伟,黑祖昆.采用Seemann—Bohlin准聚焦X射线衍射仪测量薄膜厚度的误差理论分析[J].分析测试学报,1996,15(5):35-38. |
| 作者姓名： | 于志伟 黑祖昆 |
| 摘 要： | 本文从理论上分析了衍射强度比偏差Δ（Ｉ／Ｉ∞）和衍射峰位偏差△２θ对Ｓｅｅｍａｎｎ－Ｂｏｈｌｉｎ准聚焦Ｘ射线衍射仪测量表面单层薄膜厚度误差的影响。分析结果表明，降低Δ（Ｉ／Ｉ∞）可提高膜厚的测量精度，在Δ（Ｉ／Ｉ∞）一定的情况下，按μρｔ［Ｓｉｎ＾－１γ＋Ｓｉｎ＾－１（２θ－γ）］＝１选择靶辐射和衍射晶面可使由Δ（Ｉ／Ｉ∞）导致的膜厚测量误差具有极小值；选择高角度衍射线有助于减小试样离焦引起的衍射 |
| 关 键 词： | X射线衍射仪 误差 准聚焦 薄膜 厚度 |
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