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| 硅基聚合物AWG波分复用器研究 | |
| 引用本文： | 张大明,赵禹,王菲,陈开鑫,崔占臣,马春生,许武.硅基聚合物AWG波分复用器研究[J].光子学报,2002,31(Z2):340-344. |
| 作者姓名： | 张大明 赵禹 王菲 陈开鑫 崔占臣 马春生 许武 |
| 作者单位： | [1]中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，长春130022 [2]集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区，长春130023 [3]吉林大学化学学院，长春130022 |
| 摘 要： | 报道利用甲基丙稀酸甲酯-甲基丙稀酸缩水甘油酯共聚物研制AWG波分复用器，对其原理、设计及制作工艺进行了研究。设计出AWG版图，利用铝掩模技术及反应离子刻蚀工艺完成了聚合物AWG制作。实验结果证明，制备的波导实现了单模传输。 |
| 关 键 词： | 硅基聚合物 波分复用器 AWG 阵列波导光栅 铝掩模 反应离子刻蚀 制作工艺 光纤通信 甲基丙稀酸甲酯－甲基丙稀酸缩水甘油酯共聚物 |
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