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| 热温差型微流量传感器热敏电阻自热的补偿方法 | |
| 引用本文： | 代富,,高杨,官承秋,,周斌,何移. 热温差型微流量传感器热敏电阻自热的补偿方法[J]. 半导体光电, 2013, 34(1): 46-51 |
| 作者姓名： | 代富 高杨 官承秋 周斌 何移 |
| 作者单位： | 1. 西南科技大学信息工程学院,四川绵阳621010;中国工程物理研究院电子工程研究所,四川绵阳621900 2. 中国工程物理研究院电子工程研究所,四川绵阳,621900 3. 西南科技大学信息工程学院,四川绵阳,621010 |
| 基金项目： | 中国工程物理研究院科技发展基金重点课题(2010A0302013);西南科技大学制造过程测试技术省部共建教育部重点实验室开放课题(11ZXZK03) |
| 摘 要： | 分析了热温差型微流量传感器的热敏电阻自热对测量的影响和惠斯通电桥作为前端信号采集电路的不足,提出了相应的解决方法.利用ANSYS软件对热敏电阻自热的各种情况进行了仿真,发现当上下游热敏电阻的功率越接近且值越小时,传感器的输出信号越稳定.从仿真的结论和惠斯通电桥的不足出发,提出了以恒流电路作为信号检测前端电路的方法,不但可以基本消除传感器热敏电阻自热所造成的测量误差,而且改善了由于电源不稳定给传感器测量造成的影响.分析表明,当流速为1 m/s、流道高度为150 μm时,传感器的测量误差降低了1％左右. |
| 关 键 词： | 微电子机械系统 流量传感器 有限元 惠斯通电桥 恒流电路 |
| 收稿时间： | 2012-07-11 |
Thermistor Self Heating Compensation Method for Micro Flow Sensor with Thermal Temperature Difference |
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| DAI Fu,,GAO Yang,GUAN Chengqiu,,ZHOU Bin and HE Yi. Thermistor Self Heating Compensation Method for Micro Flow Sensor with Thermal Temperature Difference[J]. Semiconductor Optoelectronics, 2013, 34(1): 46-51 | |
| Authors: | DAI Fu GAO Yang GUAN Chengqiu ZHOU Bin HE Yi |
| Affiliation: | 1(1.School of Information Engineering,Southwest University of Science and Technology,Mianyang 621010,CHN; 2.Institute of Electronic Engineering,China Academy of Engineering Physics,Mianyang 621900,CHN) |
| Abstract: | |
| Keywords: | micro-electro-mechanical systems flow sensor finite element analysis Wheatstone bridge constant current circuit |
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