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| 激光薄膜损伤的声频判别方法 | |
| 引用本文： | 苏俊宏,王坤坤,梁海峰. 激光薄膜损伤的声频判别方法[J]. 光学与光电技术, 2014, 12(1): 27 |
| 作者姓名： | 苏俊宏 王坤坤 梁海峰 |
| 作者单位： | 苏俊宏:西安工业大学光电工程学院, 陕西 西安 710032 王坤坤:西安工业大学光电工程学院, 陕西 西安 710032 梁海峰:西安工业大学光电工程学院, 陕西 西安 710032 |
| 基金项目： | 国家自然基金(61378050)、西安市未央科技局项目(201005)资助项目 |
| 摘 要： | 光学薄膜损伤阈值是衡量光学薄膜抗激光损伤能力的重要参数,而要实现损伤阈值的测试必须先实现薄膜损伤的判识。利用光声频谱特性研究单层氧化硅薄膜在不同激光能量下的损伤情况,简要地分析了声频法判别薄膜损伤的可行性,建立了激光致薄膜产生的声波采集系统,比较和分析薄膜损伤前后的24~40 kHz高频段曲线,提取频率特征,并提出利用曲线相似函数进行薄膜损伤的识别。实验数据结果表明,该方法简单易行,可实现在线检测,又能准确判别薄膜损伤。 |
| 关 键 词： | 声频 薄膜损伤 激光能量 相似 |
| 收稿时间： | 2013-09-15 |
Acoustic Frequency Method of Detection of Optical Thin Films Damage |
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| Abstract: | |
| Keywords: | acoustic frequency film damage laser energy similarity |