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| 一种基于Matlab的非球面光学元件面形参数测试技术 | |
| 引用本文： | 尤越,王乔方,字正华.一种基于Matlab的非球面光学元件面形参数测试技术[J].红外技术,2014,36(4):331-335. |
| 作者姓名： | 尤越 王乔方 字正华 |
| 作者单位： | 尤越:昆明物理研究所, 云南 昆明 650223 王乔方:昆明物理研究所, 云南 昆明 650223 字正华:昆明物理研究所, 云南 昆明 650223 |
| 基金项目： | 国防科技工业技术基础科研支持项目。 |
| 摘 要： | 提出了一种接触式轮廓仪测量非球面参数的新方法,该方法通过在传统的二维接触式轮廓仪基础上增加旋转,从而实现了三维测量。为了验证新方法的测量准确性与可行性,文中使用ZYGO干涉仪对旋转对称球面进行检测,与新方法的检测结果加以对比。最后,使用新方法对非球面光学元件的面形参数进行测试,分析结果表明新的测量方法具备较高的测试精度,满足测量要求。 |
| 关 键 词： | 非球面面形参数 接触式轮廓仪 ZYGO干涉仪 测试精度 |
| 收稿时间： | 2014/1/7 |
A Test Technique of Surface Shape Aspheric Optics Parameters Based on Matlab |
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| Abstract: | |
| Keywords: | aspheric parameters Stylus profilometer ZYGO interferometer accuracy of test |