基于PVDF阵列的微结构表面形貌感测方法研究

针对光学扫描方法存在的检测设备昂贵、检测时间较长等不足,本文提出了一种基于PVDF压电薄膜阵列的微结构表面形貌感测方法。通过理论分析,得到在利用PVDF阵列检测材料微形貌特征曲线时平均微应变与输出电荷之间的函数关系,构建了微应变输入与电信号输出之间的数学模型,并从PVDF阵列结构的角度,分析了该检测方法产生误差的主要原因。结果表明,本文提出的基于PVDF压电薄膜阵列的微形貌感测方法精度相对较高,能够实现对材料表面形貌特征曲线的表征。