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| 三振镜光扫描系统设计 | |
| 引用本文： | 施亚玲,王又良,郁德明,苏小荣,龚焕明.三振镜光扫描系统设计[J].应用激光,1990(5). |
| 作者姓名： | 施亚玲 王又良 郁德明 苏小荣 龚焕明 |
| 作者单位： | 上海市激光技术研究所，上海市激光技术研究所，上海市激光技术研究所，上海市激光技术研究所，上海市激光技术研究所 |
| 摘 要： | 根据几何光学原理,设计了一个高精度、多功能的三振镜光扫描系统。系统性能优于二振镜系统,定位精度±7μm。 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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