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脉冲时间间隔对激光烧蚀Si粒子密度分布的影响
引用本文:褚立志,李艳丽,邓泽超,丁学成,赵红东,傅广生,王英龙.脉冲时间间隔对激光烧蚀Si粒子密度分布的影响[J].人工晶体学报,2012,41(4):1049-1052.
作者姓名:褚立志  李艳丽  邓泽超  丁学成  赵红东  傅广生  王英龙
作者单位:河北大学物理科学与技术学院,保定071002;河北工业大学信息工程学院,天津300401;河北大学物理科学与技术学院,保定,071002;河北工业大学信息工程学院,天津,300401
基金项目:国家重点基础研究发展计划(973)(2011CB612305);国家自然科学基金(10774036);河北省自然科学基金(E2011201134,E2012201035);河北省光电信息材料重点实验室资助的课题
摘    要:采用Monte Carlo方法,对脉冲激光烧蚀所产生的烧蚀粒子在环境气体中的输运过程进行了数值模拟.研究了不同脉冲时间间隔与交叠区位置振荡幅度之间的关系,结果表明脉冲时间间隔影响了交叠区的振荡强弱,随着脉冲时间间隔的增加,交叠区的振荡幅度减小,脉冲时间间隔为10 μs时达到最小值,而后开始增大.所得结果为进一步研究烧蚀粒子在环境气体中的输运动力学过程提供了理论依据.

关 键 词:脉冲激光烧蚀  MonteCarlo模拟  纳米Si晶粒  交叠区  

Effect of Pluse Time Interval on Si Particle Density Distribution by Laser Ablation
CHU Li-zhi , LI Yan-li , DENG Ze-chao , DING Xue-cheng , ZHAO Hong-dong , FU Guang-sheng , WANG Ying-long.Effect of Pluse Time Interval on Si Particle Density Distribution by Laser Ablation[J].Journal of Synthetic Crystals,2012,41(4):1049-1052.
Authors:CHU Li-zhi  LI Yan-li  DENG Ze-chao  DING Xue-cheng  ZHAO Hong-dong  FU Guang-sheng  WANG Ying-long
Institution:1(1.College of Physics and Technology,Hebei University,Baoding 071002,China; 2.College of Information Engineering,Hebei University of Technology,Tianjin 300401,China)
Abstract:
Keywords:
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