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| 轴向二极场MWECR—CVD系统等离子体特性的实验研究 | |
| 作者姓名： | 叶超 宁兆元 |
| 摘 要： | 本文实验设计了永磁非对轴向二极场ＭＷＥＣＲ－ＣＶＤ系统，并对系统的等离子体特性进行了研究。获得了等离子体空间分布的图像以及气压对等离子体参数的影响。 |
| 关 键 词： | 轴向二极场 ECD 等离子体 空间分布 CVD |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
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