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涂层导体CeO2过渡层的稳定性研究
引用本文:王书明,张华,杨坚.涂层导体CeO2过渡层的稳定性研究[J].中国稀土学报,2013(5):621-626.
作者姓名:王书明  张华  杨坚
作者单位:北京有色金属研究总院分析测试中心
基金项目:国家973项目(2011CBA00105)资助
摘    要:采用反应溅射法制备涂层导体用CeO2过渡层,重点对不同水分压下制备的CeO2种子层,以及YBCO超导层沉积过程中CeO2帽子层的稳定性进行了分析。采用X射线分析相组成变化以及晶体取向,通过扫描电镜观察表面形貌。结果表明,水分压对CeO2生长影响较大,水分压太小会导致缺氧相CeO2-x(0
关 键 词:CeO2  缺氧相  水分压  稳定性
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