一种新的显影液干膜负载量监控方法

文章通过在实验室试验显影液中干膜负载量与显影液浓度、pH值的相关性,运用Minitab工具确定显影液干膜负载量与pH值的线性关系,同时根据供应商提供的干膜显影负载量上限值,计算出相应的显影液pH值参数范围。当显影液pH降低至要求范围下限值时,表示显影液中干膜负载量已经达到要求上限,显影液需及时更换处理,故可通过pH值变化来监控显影液中干膜的负载量。