溶胶凝胶法制备V2O5薄膜及其热致相变光电特性 |
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引用本文: | 李军显,李毅,周建忠,赵文晴,范丽娜.溶胶凝胶法制备V2O5薄膜及其热致相变光电特性[J].电子元件与材料,2021(4):316-322. |
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作者姓名: | 李军显 李毅 周建忠 赵文晴 范丽娜 |
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摘 要: | 基于溶胶凝胶旋涂法和后退火工艺在石英玻璃基底上制备了高质量的V2O5薄膜,研究其相变光学特性和电学特性.通过X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)分析了V2O5薄膜的晶体结构和形貌,利用XPS图谱分析了V2O5薄膜的组分.在不同偏压和不同温度下测试分析了V2O5薄膜的光电特性和相变特性,结果表明室温下V2O5薄...
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关 键 词: | V2O5薄膜 溶胶凝胶 热致相变 光学透过率 电阻 |
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