微系统制造用的硅微加工新技术 |
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引用本文: | 吴一辉.微系统制造用的硅微加工新技术[J].光机电信息,1999,16(11):1-7. |
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作者姓名: | 吴一辉 |
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摘 要: | 传统的体微加工是指薄片上的各向异性刻蚀。该技术当前已被广泛使用,它的缺点是结构一般相对较大,所以要占据绝大部分的芯片空间。在晶片的背面进行腐蚀,大多是由(111)面来形成侧壁,垂直壁可由(110)面形成。可以看出,这种微加工方法是双向完成的。该技术的一个优点是不需要高温,微加工是以后处理方式进行的,且多数都是用KOH作腐蚀液。然而,如果接续下来的工作也需在超净室中完成测最好的选择是TMAH。
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关 键 词: | 硅微加工 微系统制造 体微加工 表面微加工 |
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