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| 200mm、300mm和450mm晶圆及其生产线发展动态 | |
| 引用本文： | 羽路.200mm、300mm和450mm晶圆及其生产线发展动态[J].集成电路应用,2005(3):1-2. |
| 作者姓名： | 羽路 |
| 摘 要： | 本文介绍了200mm、300mm和450mm晶圆及其生产线的发展动态，并讨论了我国300mm晶圆生产线的现状和发展趋势。 |
| 关 键 词： | 300mm晶圆生产线 发展动态 中国 发展趋势 现状 |
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