| 硅基光导波结构的特性研究 |
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| 引用本文： | 祖继锋,余宽豪.硅基光导波结构的特性研究[J].光学学报,1998,18(6):08-812. |
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| 作者姓名： | 祖继锋 余宽豪 |
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| 作者单位： | 辽宁师范大学物理系，中国科学院上海冶金研究所微电子学分部，哈尔滨工业大学应用物理系 |
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| 基金项目： | 辽宁省科委博士基金,国家科委863高科技项目 |
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| 摘 要： | 研究了在硅基底上采用等离子增强化学汽相淀积（ＰＥＣＶＤ）氮氧化硅（ＳｉＯＮ）所形成的包括通道波导、条汉志、倒脊型波导等多种结构的特性，通过对测试结果进一步分析，总结出有关结论并提出一些改进方法。
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| 关 键 词： | 光波导 硅基底 氮氧化硅 集成光学 光电子集成 |
| 收稿时间： | 1997/2/8 |
A Study of Properties of Optical Guided-Wave Structure Based on Silicon |
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| Abstract: | The properties of SiON optical waveguides based on silicon formed by plasma-enhanced chemical vapor deposition are discussed, and the structures of channel waveguide, strip waveguide, inverted ridge waveguide are designed. The results of technical fabrication are analysed, and some improvming methods are presented. |
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| Keywords: | optical waveguide silicon matrix SiON integrated optics optoelectronic integrated circuit (LEIC) |
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