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LPE制备Si薄膜及其特性
引用本文：义仡.LPE制备Si薄膜及其特性[J].电子材料快报,1995(10):11-11.
作者姓名：义仡
摘    要：
关 键 词：LPE技术  Si薄膜  外延生长
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