| 热处理和掺铝量对溶胶-凝胶法制备AZO薄膜光电性能的影响 |
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| 引用本文： | 张丽丽,周炳卿,张林睿,李海泉.热处理和掺铝量对溶胶-凝胶法制备AZO薄膜光电性能的影响[J].人工晶体学报,2013,42(11):2270-2274. |
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| 作者姓名： | 张丽丽 周炳卿 张林睿 李海泉 |
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| 作者单位： | 内蒙古师范大学物理与电子信息学院,功能材料物理与化学自治区重点实验室,呼和浩特010022 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(51262022) |
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| 摘 要： | 以(CH3COO)2Zn·2H2O和AlCl3·6H2O为前驱物,以普通玻璃为基底利用溶胶-凝胶旋转涂膜法制备AZO薄膜.采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、紫外-可见分光光度计、四探针电阻测试仪等对AZO薄膜的物相组分、表面形貌、透射率和方块电阻进行测量与表征,并研究了热处理温度和掺铝量对AZO薄膜的结构和光电性能的影响.结果表明:AZO薄膜的结构和光电性能与不同的热处理温度和掺铝量有关,实验得到了最佳的工艺条件为热处理温度为500℃,热处理时间为60 min,掺Al溶度为1mol;,镀膜层数为8层.
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| 关 键 词： | 溶胶-凝胶法 AZO薄膜 光电性能 |
Effect of Heat Treatment and Al Doping Content on the Photoelectric Properties of AZO Thin Film Prepared by Sol-Gel Method |
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| ZHANG Li-li,ZHOU Bing-qing,ZHANG Lin-rui,LI Hai-quan.Effect of Heat Treatment and Al Doping Content on the Photoelectric Properties of AZO Thin Film Prepared by Sol-Gel Method[J].Journal of Synthetic Crystals,2013,42(11):2270-2274. |
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| Authors: | ZHANG Li-li ZHOU Bing-qing ZHANG Lin-rui LI Hai-quan |
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