| Y掺杂浓度梯度对BST薄膜结构及介电性能的影响 |
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| 引用本文： | 张宝,廖家轩,王滨,徐从玉. Y掺杂浓度梯度对BST薄膜结构及介电性能的影响[J]. 人工晶体学报, 2013, 42(3): 487-490 |
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| 作者姓名： | 张宝 廖家轩 王滨 徐从玉 |
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| 作者单位： | 电子科技大学电子科学技术研究院,成都,610054 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(51172034);中央高校基本科研业务费专项资金(ZYGX2009X018);电子科技大学中青年学术带头人培养基金(Y02018023601053) |
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| 摘 要： | 用改进的溶胶-凝胶(Sol-gel)法制备6层钇(Y)掺杂浓度分别为1;/1.1;/1.2;/1.3;/1.4;/1.5;的梯度Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜(1-1.5YBST)和掺杂浓度分别为1;/1.3;/1.6;/1.9;/2.2;/2.5;的梯度Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜(1-2.5YBST),研究掺杂浓度梯度对薄膜结构及介电性能的影响.X射线衍射(XRD)表明,两薄膜主要沿(110)晶面生长,为立方钙钛矿结构,比6层Y掺杂浓度均为1;的BST薄膜(YBST)的衍射峰强度及晶化减弱,但掺杂浓度梯度较大的1-2.5YBST对应的衍射强度和晶化较强.原子力显微镜(AFM)表明,1-2.5YBST具有更光滑的形貌.两薄膜比YBST具有高的电容、低的介电损耗、高的调谐率,而1-2.5YBST具有更优异的综合介电性能:零偏压下的电容为17.45 pF(介电常数127)、介电损耗为0.82;及最大调谐率为34.6;、优质因子为42.
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| 关 键 词： | 掺杂浓度梯度 钛酸锶钡薄膜 溶胶-凝胶法 介电性能, |
Effect of Gradient of Y Doped Concentration on Structure and Dielectric Properties of BST Films |
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| ZHANG Bao,LIAO Jia-xuan,WANG Bin,XU Cong-yu. Effect of Gradient of Y Doped Concentration on Structure and Dielectric Properties of BST Films[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2013, 42(3): 487-490 |
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| Authors: | ZHANG Bao LIAO Jia-xuan WANG Bin XU Cong-yu |
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