| 基于朗缪尔探针的硅离子空间分布特性及纳米晶粒生长过程研究 |
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| 引用本文： | 邓泽超,刘海燕,张晓龙,褚立志,丁学成,秦爱丽,王英龙.基于朗缪尔探针的硅离子空间分布特性及纳米晶粒生长过程研究[J].人工晶体学报,2013,42(12):2686-2690. |
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| 作者姓名： | 邓泽超 刘海燕 张晓龙 褚立志 丁学成 秦爱丽 王英龙 |
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| 作者单位： | 河北大学物理科学与技术学院,河北省光电信息材料重点实验室,保定071002;河北大学工商学院,保定,071002 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划)前期专项基金(2011CB612305);河北省自然科学基金(E2011201134,E2012201035);河北省高等学校科学研究项目(Q2012084) |
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| 摘 要： | 在室温、10 Pa氩气环境气体中,采用脉冲激光烧蚀技术,在以烧蚀点为圆心、半径为2 cm的玻璃弧形支架的不同角度处放置衬底,沉积了纳米Si晶薄膜.通过扫描电子显微镜、拉曼散射仪对制备样品的形貌和特性进行分析.结果表明:纳米Si晶粒以羽辉轴线为轴呈对称分布,在轴线处平均尺寸最大,随着衬底同轴线夹角的增加,晶粒尺寸逐渐减小.结合朗缪尔探针对空间不同位置羽辉中Si离子密度和热运动温度分布的诊断情况,从晶粒生长过程的角度对其尺寸随空间位置变化的结果进行了研究,得到了晶粒尺寸正比于烧蚀粒子密度和热运动温度的结论.
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| 关 键 词： | 纳米Si晶薄膜 脉冲激光烧蚀 空间分布 朗缪尔探针 |
Growth Process of Si Nanoparticles and Spatial Distribution of Si Ions Based on Langmuir Probe Diagnosis |
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| DENG Ze-chao,LIU Hai-yan,ZHANG Xiao-long,CHU Li-zhi,DING Xue-cheng,QIN Ai-li,WANG Ying-long.Growth Process of Si Nanoparticles and Spatial Distribution of Si Ions Based on Langmuir Probe Diagnosis[J].Journal of Synthetic Crystals,2013,42(12):2686-2690. |
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| Authors: | DENG Ze-chao LIU Hai-yan ZHANG Xiao-long CHU Li-zhi DING Xue-cheng QIN Ai-li WANG Ying-long |
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