| 两步法制备高择优取向的AZO薄膜 |
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| 引用本文： | 方华靖,严清峰,王晓青,沈德忠.两步法制备高择优取向的AZO薄膜[J].人工晶体学报,2013,42(7):1257-1260. |
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| 作者姓名： | 方华靖 严清峰 王晓青 沈德忠 |
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| 作者单位： | 清华大学化学系,新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室,北京100084 |
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| 基金项目： | 清华大学信息科学与技术国家实验室(筹)学科交叉基金;清华大学自主科研计划资助课题 |
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| 摘 要： | 通过水热生长的预处理步骤在普通玻璃载玻片表面铺设种子层,然后采用旋涂法在处理好的衬底上涂覆前驱体溶胶,成功地制备出沿(002)晶面择优取向生长的Al掺杂的ZnO薄膜(AZO)薄膜.利用X射线衍射分析、扫描电镜表征薄膜形貌,并测定薄膜的透射率及电阻率.研究了种子层对AZO薄膜结晶性能、表面形貌及光电性能的影响.结果表明:种子层减少了薄膜生长初期的非晶成份,促进了薄膜的晶化.薄膜在可见光范围内平均透射率超过85;,导电性能也有所改善.
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| 关 键 词： | AZO薄膜 种子层 溶胶凝胶 光电性能 |
Preparation of AZO Films with Highly Preferred Orientation by Two-step Method |
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| FANG Hua-jing,YAN Qing-feng,WANG Xiao-qing,SHEN De-zhong.Preparation of AZO Films with Highly Preferred Orientation by Two-step Method[J].Journal of Synthetic Crystals,2013,42(7):1257-1260. |
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| Authors: | FANG Hua-jing YAN Qing-feng WANG Xiao-qing SHEN De-zhong |
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