| 用于HIT太阳能电池的ITO薄膜制备与性能研究 |
| |
| 引用本文： | 温迪,雷青松,乔治,高美伶,薛俊明,张雯.用于HIT太阳能电池的ITO薄膜制备与性能研究[J].人工晶体学报,2013,42(10):2002-2006. |
| |
| 作者姓名： | 温迪 雷青松 乔治 高美伶 薛俊明 张雯 |
| |
| 作者单位： | 河北工业大学材料学院信息功能材料研究所,天津,300130;河北汉盛光电科技有限公司,衡水,053000 |
| |
| 基金项目： | 天津市自然科学基金(10JCYBJC03000) |
| |
| 摘 要： | 采用中频脉冲磁控溅射工艺制备ITO薄膜,研究了衬底温度和溅射功率对薄膜性能的影响.通过对二者的优化,获得了方阻为2.99Ω/□,电阻率为1.76×10-4Ω·cm,可见光波段(400～800 nm)平均透过率为82.3;的ITO薄膜.将优化后的薄膜用于电池上,制出了转化效率为14.04;的HIT太阳能电池.
|
| 关 键 词： | ITO薄膜 衬底温度 溅射功率 HIT太阳能电池 |
Study on Preparation and Properties of ITO Thin Films for HIT Solar Cells |
| |
| WEN Di,LEI Qing-song,QIAO Zhi,GAO Mei-ling,XUE Jun-ming,ZHANG Wen.Study on Preparation and Properties of ITO Thin Films for HIT Solar Cells[J].Journal of Synthetic Crystals,2013,42(10):2002-2006. |
| |
| Authors: | WEN Di LEI Qing-song QIAO Zhi GAO Mei-ling XUE Jun-ming ZHANG Wen |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
|
| 点击此处可从《人工晶体学报》浏览原始摘要信息 |
| 点击此处可从《人工晶体学报》下载免费的PDF全文 |
|
