| 衬底温度对电子束蒸发ZnS薄膜结构和光学特性的影响 |
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| 引用本文： | 付蕊,化麒麟,涂洁磊. 衬底温度对电子束蒸发ZnS薄膜结构和光学特性的影响[J]. 人工晶体学报, 2013, 42(7): 1366-1370 |
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| 作者姓名： | 付蕊 化麒麟 涂洁磊 |
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| 作者单位： | 云南师范大学太阳能研究所,昆明,650092 |
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| 基金项目： | 国家高新技术研究计划(863计划)(2011AA050512);云南省重点基金项目(2009CC012);霍英东青年基金项目(111061) |
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| 摘 要： | 采用电子束蒸发法在不同衬底温度下,150℃、200℃、250℃和300℃,制备了ZnS薄膜；用X射线衍射仪、原子力显微镜、膜厚仪和紫外-可见光-近红外分光光度计分别表征ZnS薄膜的晶体结构、表面形貌和光学特性；并分析了不同衬底温度对薄膜的结构和光学特性的影响.结果表明:在硅衬底上制备的ZnS都为多晶薄膜,具有闪锌矿β-ZnS结构；随衬底温度升高呈(111)晶面高度择优取向,平均晶粒尺寸有所增大,内应力、位错密度、折射率和吸收系数有所减小,禁带宽度随之增大；衬底温度为300℃时制备的薄膜表面均匀致密,呈现较优的结构和光学性能.
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| 关 键 词： | 电子束蒸发 ZnS薄膜 衬底温度 微结构 光学特性, |
Effect of Substrate Temperature on Structure and Optical Properties of ZnS Thin Films Deposited by Electron-Beam Evaporation |
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| FU Rui,HUA Qi-lin,TU Jie-lei. Effect of Substrate Temperature on Structure and Optical Properties of ZnS Thin Films Deposited by Electron-Beam Evaporation[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2013, 42(7): 1366-1370 |
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| Authors: | FU Rui HUA Qi-lin TU Jie-lei |
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