| ZnO微米刺球的CVD法生长及其在压电应力传感器中的应用 |
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| 引用本文： | 刘欣,胡礼中,张贺秋,邱宇,赵宇,骆英民.ZnO微米刺球的CVD法生长及其在压电应力传感器中的应用[J].人工晶体学报,2013,42(9):1746-1749. |
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| 作者姓名： | 刘欣 胡礼中 张贺秋 邱宇 赵宇 骆英民 |
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| 作者单位： | 大连理工大学物理与光电工程学院,大连,116024 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(60777009);辽宁省教育厅重点实验室开放基金项目(20060131);教育部博士点基金(20070141038);大连理工大学中央高校基本科研业务费专项资金资助(DUT11LK46) |
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| 摘 要： | 利用化学气相沉积(CVD)方法生长出一种新颖的氧化锌(ZnO)微米刺球状结构,并使用该结构制备出一种新型压电应力传感器件.使用半导体特性分析系统(Keithley 4200)对器件特性进行测试,结果表明该种器件对所施加的应力高度敏感,开关比高达约60,比目前多数ZnO基压电应力传感器件高出数倍,在应力检测和机电开关等领域有很好的应用前景.
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| 关 键 词： | 氧化锌 微米刺球 化学气相沉积 压电应力传感器 开关比 |
Application of ZnO Micro-thornyball Prepared by CVD Method in Piezoelectric Strain Sensor |
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| LIU Xin,HU Li-zhong,ZHANG He-qiu,QIU Yu,ZHAO Yu,LUO Ying-min.Application of ZnO Micro-thornyball Prepared by CVD Method in Piezoelectric Strain Sensor[J].Journal of Synthetic Crystals,2013,42(9):1746-1749. |
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| Authors: | LIU Xin HU Li-zhong ZHANG He-qiu QIU Yu ZHAO Yu LUO Ying-min |
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