| 固结磨料研磨蓝宝石衬底的工艺研究 |
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| 引用本文： | 李鹏鹏,李军,王建彬,夏磊,朱永伟,左敦稳.固结磨料研磨蓝宝石衬底的工艺研究[J].人工晶体学报,2013,42(11):2258-2264. |
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| 作者姓名： | 李鹏鹏 李军 王建彬 夏磊 朱永伟 左敦稳 |
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| 作者单位： | 南京航空航天大学机电学院,江苏省精密与微细制造技术重点实验室,南京210016 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(51175260,50905086);中央高校基本科研业务专项资金(NP2012506,NS2013055);江苏省高校优势学科建设工程助项目 |
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| 摘 要： | 为获得高材料去除率和优表面质量的蓝宝石衬底,采用固结磨料研磨蓝宝石衬底提高加工效率,研究研磨压强、工作台转速、三乙醇胺(TEA)浓度和研磨垫类型四个因素对材料去除率和表面粗糙度的影响,并综合优化获得高材料去除率和优表面质量的工艺参数.结果表明:有图案的研磨垫、研磨压强为100 kPa、工作台转速为120 r/min、三乙醇胺的浓度为5;为最优研磨工艺参数组合,固结磨料研磨蓝宝石的材料去除率为31.1 μm/min,表面粗糙度为0.309 μm.
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| 关 键 词： | 固结磨料 研磨 蓝宝石衬底 材料去除率 表面粗糙度 |
Study on the Lapping Process of Sapphire Substrate through Fixed Abrasive |
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| LI Peng-peng,LI Jun,WANG Jian-bin,XIA Lei,ZHU Yong-wei,ZUO Dun-wen.Study on the Lapping Process of Sapphire Substrate through Fixed Abrasive[J].Journal of Synthetic Crystals,2013,42(11):2258-2264. |
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| Authors: | LI Peng-peng LI Jun WANG Jian-bin XIA Lei ZHU Yong-wei ZUO Dun-wen |
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