| 高效大功率LED用蓝宝石图形衬底的制备 |
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| 引用本文： | 汪桂根,崔林,韩杰才,王新中,严帅,秦国双. 高效大功率LED用蓝宝石图形衬底的制备[J]. 人工晶体学报, 2013, 42(8): 1498-1503 |
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| 作者姓名： | 汪桂根 崔林 韩杰才 王新中 严帅 秦国双 |
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| 作者单位： | 哈尔滨工业大学深圳研究生院,深圳,518055;哈尔滨工业大学深圳研究生院,深圳518055;哈尔滨工业大学复合材料与结构研究所,哈尔滨150001;深圳信息职业技术学院,深圳,518172 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(6124015);广东省自然科学基金(9451805707003351,S2012010010030);深圳市基础研究计划项目(JCYJ20120613134210982,JCYJ20120615101957810);哈尔滨工业大学科研创新基金(HIT.NSFIR.2011123) |
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| 摘 要： | 首先在蓝宝石衬底上旋涂PMMA/copolymer双层胶,然后再进行电子束光刻处理,随后溅射铝膜,并结合剥离技术,从而制备图形化金属铝膜；最后再采用两步热处理法,使图形铝膜发生固相外延反应.在此过程中,侧重于电子束光刻和高温热处理的工艺优化研究.SEM测试结果表明,图形化铝膜在450℃低温氧化热处理24h后,其图形形貌没有发生明显改变；在温度低于1200℃的高温热处理1h后,图形仍然存在.HRXRD分析表明,图形化铝膜在450℃低温热处理24h后再在1000℃高温热处理1h,可在蓝宝石衬底上形成氧化铝外延薄膜；并且相比于基片,氧化铝外延薄膜的结晶质量还有所提高.本方法成功实现了高效大功率用LED蓝宝石图形衬底的制备.
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| 关 键 词： | 蓝宝石 图形衬底 电子束光刻 剥离 发光二极管, |
Preparation of Patterned Sapphire Substrate for High-efficiency and High-power Light Emitting Diodes |
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| WANG Gui-gen,CUI Lin,HAN Jie-cai,WANG Xin-zhong,YAN Shuai,QIN Guo-shuang. Preparation of Patterned Sapphire Substrate for High-efficiency and High-power Light Emitting Diodes[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2013, 42(8): 1498-1503 |
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| Authors: | WANG Gui-gen CUI Lin HAN Jie-cai WANG Xin-zhong YAN Shuai QIN Guo-shuang |
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