| 高功率密度多结级联905 nm垂直腔面发射激光器 |
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| 作者姓名： | 潘冠中 荀孟 赵壮壮 孙昀 蒋文静 周静涛 吴德馨 |
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| 作者单位： | 中国科学院微电子研究所 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(批准号:62104251,62174178)；;中国博士后科学基金(批准号:BX20200358,2021M703442)； |
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| 摘 要： | 本文针对激光雷达等三维传感应用,设计并制备了905 nm波长的高功率密度5结级联垂直腔面发射激光器(vertical cavity surface emitting laser, VCSEL).制备的5结级联VCSEL单管(氧化孔径8μm)的功率转换效率高达55.2%;其最大斜率效率为5.4 W/A,约为相同孔径单结VCSEL的5倍.窄脉冲条件下(脉冲宽度为5.4 ns,占空比0.019%), 5结级联19单元VCSEL阵列(单元孔径20μm)的峰值输出功率达到58.3 W,对应的峰值功率密度高达1.62 kW/mm2.对不同孔径器件(8—20μm)的光电特性进行了测试和分析.结果显示,这些器件的最大斜率效率均大于5.4 W/A,最大功率转换效率均大于54%.这些高性能VCSEL器件可作为激光雷达等三维传感应用的理想光源.
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| 关 键 词： | 905 nm垂直腔面发射激光器 多结级联 高功率密度 三维传感 |
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