| 透明导电ZnO:Al/Cu网格复合膜及其电加热性能 |
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| 引用本文： | 陆杨丹,吕建国,杨汝琪,陆波静,朱丽萍,叶志镇.透明导电ZnO:Al/Cu网格复合膜及其电加热性能[J].物理学报,2022(18):291-298. |
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| 作者姓名： | 陆杨丹 吕建国 杨汝琪 陆波静 朱丽萍 叶志镇 |
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| 作者单位： | 浙江大学材料科学与工程学院硅材料国家重点实验室 |
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| 基金项目： | 浙江省重点研发计划(批准号:2021C01030)； |
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| 摘 要： | 为获得更优性能的无铟透明导电薄膜,需要在不损害薄膜透光性的同时提高导电性能.本文采用紫外光刻和磁控溅射,在Cu网格的表面覆盖Al掺杂的ZnO (ZnO:Al, AZO)薄膜,制备透明导电的AZO/Cu网格复合膜. Cu网格的线宽低至15μm,透光性极高,并且导电性能得到大幅度改善,覆盖稳定的透明导电AZO薄膜为Cu网格提供屏障保护.通过六边形网格形状的设计和工艺参数的优化,制备出的复合膜的可见光波段透过率达到86.4%,方块电阻降低至4.9Ω/sq,同时实现了高透光性和高导电性.成本低廉、光电性能好且环境稳定的AZO/Cu网格复合膜在透明电子领域具有广泛的应用前景,将其用于透明电加热膜,可在较低电压下实现快速、均匀、稳定的电热响应,有望作为透明的面发热膜应用于除雾除霜玻璃、热疗贴膜等.
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| 关 键 词： | ZnO 金属网格 透明导电薄膜 电加热膜 |
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