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| 激光退火系统 | |
| 引用本文： | （张兵译,蒋承溪（校.激光退火系统[J].四川激光,1981,2(3):27-27. |
| 作者姓名： | （张兵译 蒋承溪（校 |
| 摘 要： | 美国加利福尼亚州Palo Alto的Coherent公司已开始出售它的新型系统5000型连续波激光退火装置，据称：该装置可以显著提高半导体制造过程的生产率。它用氩激光束时，能以高达500厘米/秒的速率扫掠直径大到10．2厘米的薄片。 |
| 关 键 词： | 激光退火 系统 Coherent公司 加利福尼亚州 退火装置 连续波激光 5000型 Alto 制造过程 生产率 |
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