| 灰度狭缝扫描制作多台阶光栅的工艺研究 |
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| 引用本文： | 魏国军,徐兵,陈林森.灰度狭缝扫描制作多台阶光栅的工艺研究[J].光学技术,2005,31(2):190-192. |
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| 作者姓名： | 魏国军 徐兵 陈林森 |
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| 作者单位： | 苏州大学,信息光学工程研究所,江苏,苏州,215006;苏州大学,信息光学工程研究所,江苏,苏州,215006;苏州大学,信息光学工程研究所,江苏,苏州,215006 |
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| 摘 要： | 采用灰度狭缝进行矢量化的直写,使平台沿着垂直狭缝的方向运动,获得了具有台阶结构的光栅槽型,编写了与DXF文件一致的接口直写控制程序。该方法对成像视场要求低,可以制作大面积光栅。以色分离光栅(CSG)为例,用标量衍射理论分析了CSG的衍射效率,讨论了工艺制作误差对衍射效率的影响,并给出了初步的实验结果。
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| 关 键 词： | 激光直写 灰度狭缝 色分离光栅 标量衍射理论 |
| 文章编号： | 1002-1582(2005)02-0190-03 |
| 修稿时间： | 2003年12月29 |
Research of fabrication muti-levels grating based on gray-slot scanning |
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| WEI Guo-jun,XU Bing,CHEN Lin-sen.Research of fabrication muti-levels grating based on gray-slot scanning[J].Optical Technique,2005,31(2):190-192. |
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| Authors: | WEI Guo-jun XU Bing CHEN Lin-sen |
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| Abstract: | The gray-scale slot is designed to write the grooves with multiple-levels along the vertical direction of grayscale-slot by a vector file that is obtained from the interface with DXF. The diffraction efficiency and error of step depth of color separate grating are analyzed with the scalar diffraction method. The initial experimental results are given. |
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| Keywords: | laser direct writing grayscale-slot color separation grating scalar method |
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