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| 基于显微拉曼光谱的金刚石非晶层厚度检测方法 | |
| 引用本文： | 兀伟,徐宗伟,李万里,刘婷,曹克雄,陈津平.基于显微拉曼光谱的金刚石非晶层厚度检测方法[J].分析试验室,2014(11):1276-1280. |
| 作者姓名： | 兀伟 徐宗伟 李万里 刘婷 曹克雄 陈津平 |
| 作者单位： | 天津大学精密仪器与光电子工程学院;天津市微纳制造技术工程中心; |
| 基金项目： | 国家自然基金项目(51275559,50935001);中物院超精密加工技术重点实验室开放基金项目(KF13008)资助 |
| 摘 要： | 提出了利用激光共聚焦显微拉曼光谱仪测试非晶层厚度的方法。以单晶区与非晶区的拉曼峰值比值为研究对象,研究发现此值与非晶层厚度具有较好的相关性。方法为非晶层测量提供了一种快速、无损、廉价的定量检测途径。实验证明,对于厚度小于50 nm的非晶层,方法检测误差小于1.5 nm。 |
| 关 键 词： | 拉曼光谱 非晶层 聚焦离子束 无损检测 单晶金刚石 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |