| 微通道板BeO防离子反馈膜粒子阻透率的模拟研究 |
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| 引用本文： | 鲁蓝霜,王国政,夏加,张益博,杨继凯.微通道板BeO防离子反馈膜粒子阻透率的模拟研究[J].半导体光电,2023,44(3):400-403. |
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| 作者姓名： | 鲁蓝霜 王国政 夏加 张益博 杨继凯 |
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| 作者单位： | 长春理工大学 物理学院, 长春 130022 |
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| 摘 要： | 带有防离子反馈膜的微通道板是第三代微光像增强器件中的核心部件。文章阐述了防离子反馈膜的电子透过、离子阻止特性,利用Monte-Carlo模拟方法计算了氧化铍和三氧化二铝防离子反馈膜电子透过率和离子阻止率在不同条件下的变化曲线。模拟结果表明,氧化铍薄膜比三氧化二铝薄膜的电子透过特性好,而三氧化二铝薄膜比氧化铍薄膜的离子阻止本领好,证实了氧化铍作为防离子反馈膜的可行性。
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| 关 键 词： | 防离子反馈膜 蒙特卡罗模拟 电子透过率 离子阻止率 |
| 收稿时间： | 2023/1/17 0:00:00 |
Simulations on the Particle Blocking and Transmitting Performance of Microchannel Plate BeO Ion Barrier Film |
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| LU Lanshuang,WANG Guozheng,XIA Ji,ZHANG Yibo,YANG Jikai.Simulations on the Particle Blocking and Transmitting Performance of Microchannel Plate BeO Ion Barrier Film[J].Semiconductor Optoelectronics,2023,44(3):400-403. |
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| Authors: | LU Lanshuang WANG Guozheng XIA Ji ZHANG Yibo YANG Jikai |
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| Institution: | School of Physics, Changchun University of Science and Technology, Changchun 130022, CHN |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ion barrier film Monte-Carlo simulation electron transmittance ratio ion blocking ratio |
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