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a—Ge:H和a—Ge:H/a—Si:H超晶格的研究
引用本文:
姜建功,陈坤基.a—Ge:H和a—Ge:H/a—Si:H超晶格的研究[J].化学物理学报,1992,5(6):436-440.
作者姓名:
姜建功
陈坤基
摘 要:
关 键 词:
半导体薄膜
晶化
超晶格
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