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| 在磁控溅射镀膜实验中开展探究性教学的尝试 | |
| 作者姓名： | 许积文 袁昌来 杨玲 张小文 丘伟 张艳丽 李震春 朱保华 杨云 陈国华 |
| 作者单位： | 桂林电子科技大学材料科学与工程学院;桂林电子科技大学广西信息材料构效关系重点实验室 |
| 摘 要： | 结合桂林电子科技大学在探索研究性实验方面积累的教学经验与方法,以及教师在薄膜与器件方面的科研工作,尝试将射频磁控溅射镀膜用于大学生探索研究性实验教学.探究性实验从物理原理、设备构造、材料、工艺、理论与实践关联、性能测试、结果分析等方面进行类似研究生的培养过程,多角度培养学生的综合能力.实践表明:电子类地方高校将溅射镀膜实验用于大学探索性研究性实验具有可行性,且可与学校的学科特色紧密结合. |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |