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Si1-XGeX/Si红外光电探测器
引用本文:江若琏,罗志云.Si1-XGeX/Si红外光电探测器[J].光电子.激光,2000,11(1):17-19.
作者姓名:江若琏  罗志云
基金项目:新材料领域项目,中国科学院资助项目
摘    要:本文报导了用两种缓冲层生长技术研制的Si1-xGex/Si异质结pin型红外探测器。其波长范围为0.70~1.55μm,峰值波长为0.96~1.06μm,暗电流密度低达0.03μA/mm^2(-2V),在1.3μm处的响应度高达0.15A/W(-5V);讨论了Ge组分、外延层厚度、偏置电压等对探测器参数的影响。

关 键 词:光电探测器  锗化硅合金  红外探测器
修稿时间:1999-09-09

Si1-XGeX/Si Infrared Photodetectors
JIANG Ruo-lian,LUO Zhi-yun,CHEN Wei-min,ZANG Lan,ZHU Shun-ming,LIU Xia-bing,CHENG Xue-mei,CHEN Zhi-zhong,HAN Ping,WANG Rong-hua,ZHENG You-dou.Si1-XGeX/Si Infrared Photodetectors[J].Journal of Optoelectronics·laser,2000,11(1):17-19.
Authors:JIANG Ruo-lian  LUO Zhi-yun  CHEN Wei-min  ZANG Lan  ZHU Shun-ming  LIU Xia-bing  CHENG Xue-mei  CHEN Zhi-zhong  HAN Ping  WANG Rong-hua  ZHENG You-dou
Abstract:
Keywords:
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