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| LIGA—EDM复合技术的研究 | |
| 作者姓名： | 彭良强 伊福廷 张院春 邹丽芸 李勇 张菊芳 韩勇 |
| 作者单位： | [1]北京市机电研究院．北京100027 [2]清华大学精仪系，北京100084 [3]中国科学院高能物理研究所，北京100039 [4]中国科学院高驱散能物理研究所，北京100039 |
| 摘 要： | 提出LIGA-EDM复合技术技术，即采用LIGA技术制备工具电极的微细电火花加工技术，通过同步辐射尝试光刻得到的胶结构厚度达2mm深宽比约为100，使用电铸技术得到厚度达1mm的铜工县电极，利用该电极进行微细电火花加工实验，在不锈钢上加工出异形小孔阵列． |
| 关 键 词： | LIGA—EDM复合技术 微加工 光刻 电铸 塑铸 微机械 微细电火花加工 同步辐射 |
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