| MOCVD前驱物Fe(DPM)3的制备与性能表征 |
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| 引用本文： | 王艳艳,姜银珠,高建峰,刘铭飞,孟广耀. MOCVD前驱物Fe(DPM)3的制备与性能表征[J]. 无机化学学报, 2006, 22(7): 1269-1274 |
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| 作者姓名： | 王艳艳 姜银珠 高建峰 刘铭飞 孟广耀 |
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| 作者单位： | 中国科学技术大学材料科学与工程系,合肥,230026 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 以FeCl3和四甲基庚二酮(HDPM)为原料，在醇/水混合溶剂中合成β-二酮金属有机化合物Fe(DPM)3。利用红外吸收光谱、元素分析、原子吸收光谱、差热-热重和质谱分析等技术，分析了Fe(DPM)3的结构、纯度、热稳定性、挥发性以及热分解机理。结果显示，合成的Fe(DPM)3在空气气氛和氮气气氛下均具有良好的挥发性，气化失重率达到98%以上，空气气氛中氧的存在对Fe(DPM)3的气化和分解具有一定的促进作用；质谱分析结果表明：在Fe(DPM)3的分解过程中，首先有一个DPM配体解离，然后在剩余两个DPM配体中先解离出-C(CH3)3基团，随后分裂出剩下的-OCCH2COC(CH3)3基团，最后得到+Fe(DPM)碎片。本文同时以新合成的Fe(DPM)3作为前驱物，采用气溶胶辅助的金属有机化学气相沉积(Aerosol Assisted MOCVD，AA-MOCVD)技术在α-Al2O3衬底上成功沉积制备了α-Fe2O3薄膜。
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| 关 键 词： | MOCVD； β-二酮螯合物； 挥发性； 热分解 |
| 文章编号： | 1001-4861(2006)07-1269-06 |
| 收稿时间： | 2006-04-17 |
| 修稿时间： | 2006-06-09 |
Synthesis and Characterization of MOCVD Precursor Fe(DPM)3 |
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| WANG Yan-Yan,JIANG Yin-Zhu,GAO Jian-Feng,LIU Ming-Fei and MENG Guang-Yao. Synthesis and Characterization of MOCVD Precursor Fe(DPM)3[J]. Chinese Journal of Inorganic Chemistry, 2006, 22(7): 1269-1274 |
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| Authors: | WANG Yan-Yan JIANG Yin-Zhu GAO Jian-Feng LIU Ming-Fei MENG Guang-Yao |
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| Affiliation: | Department of Materials Science and Engineering, University of Science and Technology of China, Hefei 230026,Department of Materials Science and Engineering, University of Science and Technology of China, Hefei 230026,Department of Materials Science and Engineering, University of Science and Technology of China, Hefei 230026,Department of Materials Science and Engineering, University of Science and Technology of China, Hefei 230026 and Department of Materials Science and Engineering, University of Science and Technology of China, Hefei 230026 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MOCVD |
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