| 光敏聚酰亚胺的最新进展 |
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| 引用本文： | 冯威,李佐邦.光敏聚酰亚胺的最新进展[J].功能高分子学报,1996,9(1):125-136. |
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| 作者姓名： | 冯威 李佐邦 |
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| 作者单位： | 河北工业大学化工系 天津300130 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，河北省科委自然科学基金资助项目 |
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| 摘 要： | 综述光敏聚酰亚胺作为感光高分子的最新进展，着重叙述了有机硅改性光敏聚酰亚胺，自增感光敏聚酰亚胺和含氟光敏聚酰亚胺的制备方法和性能研究。
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| 关 键 词： | 聚酰亚胺 抗蚀剂 PSPI 感光性 耐热性 |
Recent Progresses in Photosensitive Polyimides |
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| Feng Wei,Li Zuobang Zhu Pukun Wang Lixin Li Fang.Recent Progresses in Photosensitive Polyimides[J].Journal of Functional Polymers,1996,9(1):125-136. |
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| Authors: | Feng Wei Li Zuobang Zhu Pukun Wang Lixin Li Fang |
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| Abstract: | The present paper reviews the investigative progresses of photosensitive polyimides. The synthetic methods and properties of photosensitive polysiloxa-neimides, autophotosensitive polyimides and fluorine-containing photosensitive polyimides are discussed in detail. |
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| Keywords: | Photosensitive polyimides Photosensitive polymers Photoresist |
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