| 扭转微镜光学致动器研究 |
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| 引用本文： | 吴文刚,栗大超,袁勇,孙卫,阎桂珍,郝一龙,靳世久.扭转微镜光学致动器研究[J].微纳电子技术,2003,40(7):410-414. |
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| 作者姓名： | 吴文刚 栗大超 袁勇 孙卫 阎桂珍 郝一龙 靳世久 |
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| 作者单位： | 1. 北京大学微电子学研究院,北京,100871
2. 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金和北京市国家技术创新项目计划(60278028和772167384624)资助项目 |
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| 摘 要： | 应用基于表面硅、体硅微电子工艺的混合微加工技术研制了新型扭转微镜光学致动器,实现了致动器结构与具有光纤自固定、自对准功能的新型光纤定位保持结构的单片集成.新型扭转微镜光学致动器的机电和光学特性研究表明,其工作寿命超过108次动作,最小动作时间估计可低于2ms,存在驱动微镜自然地翻转90°角的静电阈值电压和维持微镜处于已翻转90°角状态的静电最低保持电压;其微镜的表面粗糙度及其分布基本满足光的波分复用技术等的应用要求.新型扭转微镜光学致动器可在光纤网络中作为光开关或可变光衰减器使用.设计、制作及研究了由新型扭转微镜光学致动器组成的2×2光开关阵列.
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| 关 键 词： | 扭转微镜光学 致动器 光开关 光纤通信 结构设计 |
| 文章编号： | 1671-4776(2003)07/08-0410-05 |
| 修稿时间： | 2003年5月15日 |
Novel torsion-mirror optical actuators |
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