| Sb，In，P掺杂对SnO_2薄膜透明导电性能的影响(英文) |
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| 引用本文： | 闫军锋,张志勇,赵武,邓周虎,王雪文.Sb，In，P掺杂对SnO_2薄膜透明导电性能的影响(英文)[J].光子学报,2007(Z1). |
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| 作者姓名： | 闫军锋 张志勇 赵武 邓周虎 王雪文 |
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| 作者单位： | 西北大学信息科学与技术学院，西北大学信息科学与技术学院，西北大学信息科学与技术学院，西北大学信息科学与技术学院，西北大学信息科学与技术学院 西安 710069，西安 710069，西安 710069，西安 710069，西安 710069 |
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| 基金项目： | Supported by Natural Science Foundation of Shaanxi Province(2005F39) |
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| 摘 要： | 采用溶胶凝胶(Sol-Gel)技术制备了SnO2:(Sb,In)透明导电薄膜,优化了制备工艺参数,获得了最佳制备条件,研究表明,4%的铟掺杂有效地改善了薄膜的内部结构,使得紫外-可见光的透过率显著增加;7%的锑掺杂释放出了更多的载流子,使薄膜的方块电阻降低,2%的磷掺杂因准连续杂质能带的形成进一步提高了薄膜的电导率.Sb、In、P的掺入使得SnO2薄膜的紫外-可见光的透过率达83%,方块电阻达38Ω/□
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| 关 键 词： | Sol-Gel 掺杂 二氧化锡 透明导电薄膜 |
Influence of doped Sb, In, P on Transparent and Conducting Characteristics of Thin Film of SnO_2 |
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| YAN Jun-feng,ZHANG Zhi-yong,DENG Zhou-hu,ZHAO Wu,WANG Xue-wen.Influence of doped Sb, In, P on Transparent and Conducting Characteristics of Thin Film of SnO_2[J].Acta Photonica Sinica,2007(Z1). |
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| Authors: | YAN Jun-feng ZHANG Zhi-yong DENG Zhou-hu ZHAO Wu WANG Xue-wen |
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| Keywords: | Sol-gel technique Doping SnO2 Transparent and conducting film |
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