| 基于MATLAB与非球面轮廓仪的Q-Type非球面检测技术 |
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| 引用本文： | 贾孟,薛常喜,李闯,兰喜瑞,王蕾,王伦,吴百融.基于MATLAB与非球面轮廓仪的Q-Type非球面检测技术[J].激光与光电子学进展,2019,56(15):103-108. |
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| 作者姓名： | 贾孟 薛常喜 李闯 兰喜瑞 王蕾 王伦 吴百融 |
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| 作者单位： | 长春理工大学光电工程学院,吉林长春,130022;长春理工大学光电工程学院,吉林长春,130022;长春理工大学光电工程学院,吉林长春,130022;长春理工大学光电工程学院,吉林长春,130022;长春理工大学光电工程学院,吉林长春,130022;长春理工大学光电工程学院,吉林长春,130022;长春理工大学光电工程学院,吉林长春,130022 |
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| 基金项目： | 吉林省重点科技研发项目 |
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| 摘 要： | Q-type非球面广泛应用于光学系统设计中,针对Q-type非球面超精密加工过程中的面形检测问题,提出了一种MATLAB软件与Taylor Horbson PGI-1240非球面轮廓仪相结合的方法,以达到对Q-type非球面进行高精度检测的目的。检测结果表明,由Nanoform 700Ultra单点金刚石超精密车床加工的全口径为11.8mm的单晶铜Q-type非球面面形误差峰谷(PV)值为0.1963μm,表面粗糙度方均根(RMS)值为0.03412μm,满足加工第一阶段面形误差PV值<0.2μm和表面粗糙度RMS值<0.04μm的要求。此检测方法可以精确得到工件面形误差,为下一阶段车削加工提供数据支持。
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| 关 键 词： | 测量 Q-type非球面检测 MATLAB 非球面轮廓仪 单点金刚石车削 |
Q-Type Asphere Testing Technology Based on MATLAB and Aspheric Profilometer |
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| Jia Meng,Xue Changxi,Li Chuang,Lan Xirui,Wang Lei,Wang Lun,Wu Bairong.Q-Type Asphere Testing Technology Based on MATLAB and Aspheric Profilometer[J].Laser & Optoelectronics Progress,2019,56(15):103-108. |
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| Authors: | Jia Meng Xue Changxi Li Chuang Lan Xirui Wang Lei Wang Lun Wu Bairong |
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| Institution: | (School of Optoelectronic Engineering, Changchun University of Science and Technology, Changchun,Jilin 130022,China) |
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| Abstract: | Jia Meng;Xue Changxi;Li Chuang;Lan Xirui;Wang Lei;Wang Lun;Wu Bairong(School of Optoelectronic Engineering, Changchun University of Science and Technology, Changchun,Jilin 130022,China) |
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| Keywords: | measurement Q-type asphere testing MATLAB aspheric profilometer single point diamond turning |
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